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共焦点光学式センサ

ナノオーダーの分解能、透明体厚み測定

IFD2451/2471

IFD2401

IFD2451・2471は、共焦点光学式の原理を用いた超高精度変位計です。
特に透明体と鏡面体の測定に対して有効であり、レイヤー構造の透明体各部の厚みをセンサーシステム1台で測定する事が出来ます。
内径・内部形状測定や超高分解能による表面検査など、センサヘッドを交換するだけで幅広い用途に適合します。
また、キセノン外部光源を基に応答性を最大70kHzまで向上しております。